Ceramic electrostatic Chuck

Productio semiconductor productio, praecipue laganum processus, sunt in vacuo environment et mechanice clamping wafers portat 

quaedam metus. Cum vis est concentratur in clamping punctum, fragile Silicon Wafers potest effudit minima fragmenta, causing grave damnum ad laganum productionem.

In hoc casu, in Ceramic electrostatic Chuck fit melior electrostatic qui fixes in laganum per electrostatic vis. Electrostatic vim agit aequaliter in laganum, ita et laganum potest esse certum plane, improving accurate processus.

Secundum pertinet investigationis papers, tellus electrostatic chuck habere fortior suctu quam alius electrostatic chucks. Exempli gratia, Ceramic electrostatic Chuck habet multo fortior suctu quam pet film electrostatic Chuck.

Ceramics Paul est plerumque factus est summus perficientur tellus materiae ut al2o3, aln vel sic, quod habet altum calor resistentia, velit et corrosio resistentia. Porore Sic Ceramic Chuck non solum firmum in extrema temperaturis, sed etiam efficaciter prohibet tellus E-Chuck ex degradation ex eget Reagents et Plasma Etching in vestibulum processus.

Temperatus imperium: In excelsum scelerisque conductivity et firmum scelerisque proprietatibus Ceramic materiae activare Alumina Ceramic vacuo Chuck ad efficaciter temperatus, ita optimizing ad temperatus distribution in processus.

Vacuum adaptability: Ceramic electrostatic Chuck est idoneam ad vacuum environments, praesertim in humilis-pressura et summus praecisione etching processus.

LUBRICUS: Pororus Sic Ceramic E-Chuck habet lenis superficies, quae potest reducere particula contagione durante lagestis fixing et auxilium amplio uber cede.

Application: Maxime in semiconductor vestibulum, dedoachable Ceramic electrostatic Chuck providens precise positioning et stabilitatem, quae est valde utile pro lithography, etching et aliis semiconductor laganum processui vestibulum processus. Ut ad laganum est integrum per dispensando et amplio qualis est chip productio.

Et semiconductorCeramic E-Chuck productio officinae: